技術概述

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材料計量

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二次離子質譜(SIMS)

二次離子質譜(SIMS)

Nova METRION^®利用二次離子質譜(SIMS) 技術  提供 沒有其他內聯計量係統可以提供的信息。万博mantex体育入口 這包括直接,內聯 測量高深度分辨率的化學成分  和數據密度,以及同時測量多個物種在300毫米晶圓片的電影堆棧。  過程自動化與內置的電影分析和配方管理使新星METRION^®係統易於使用, 當執行這些測量結果在生產工廠縮短時間。

二次離子質譜(SIMS)

突出部分和好處

直接成分分析 

內置的電影分析

完整的工廠自動化

汙染的自由

整個晶片測量 

減少廢料,提高產量

直接成分分析 

內置的電影分析

完整的工廠自動化

汙染的自由

整個晶片測量 

減少廢料,提高產量

直接成分分析 

直接措施組成資料內聯在高分辨率和深度數據密度

內置的電影分析

簡化了測量和加速過程的洞察力與內置的電影分析和配方管理

完整的工廠自動化

支持完整的工廠自動化,使大批量生產

汙染的自由

確保無憂contaminant-sensitive內部生產環境中使用

整個晶片測量 

消除了樣品製備,使多點測量晶圓均勻映射

減少廢料,提高產量

更快的結果減少了廢時間,提高產量提供快速的投資回報(ROI)

Nova VERAFLEX®三世

為什麼內聯西姆斯?

 需要交付 時間敏感信息 監視和控製 大批量生產(HVM)工作流,內聯SIMS防止廢料,減少返工, 使嚴格的統計過程控製(SPC)。

西姆斯是什麼?

我們的博客

Nova METRION®:分析材料成分複雜的年代……

Nova METRION®直接措施的複合晶片材料使用二次離子質Spectr……

莎拉·岡田克也

2022年11月23日,

Nova METRION®的用例

在我們的同伴博客覆蓋METRION我們探索SIMS技術se的重要性…万博mantex体育入口

莎拉·岡田克也

2022年11月30日

馬拉字段重新定義限製一個一步——一個……

從她的高中老師好建議領先馬拉字段對h做出一個改變人生的選擇……

新團隊

2022年1月17日

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Nova介紹革命內聯西姆斯的解決方案

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2022年2月17日(

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Nova METRION®製造商選擇先進的邏輯

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7月12日,2022

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Nova接收多個材料計量主要邏輯和鑄造客戶訂單

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2021年1月28日

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我們的出版物

過濾器的年

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整片強迫症計量:增加采樣率沒有所有權的成本懲罰

2023年4月27日

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有先進光刻+模式

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由:丹尼爾Doutt *、契那發電廠Ping-ju Bhargava Ravooria,參選k . Trana埃坦Rothsteinb, Nir Kampelb,理Tamamb,有效率Aboodyb, Avron現場,Harindra Vedalac

使用在線拉曼光譜TSV應力演化映射

2023年4月27日

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有先進光刻+模式

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由:Stefan Schoeche丹尼爾·施密特,馬約莉Cheng Aron Cepler亞伯拉罕Arceo德拉佩納珍妮弗•奧克利

300毫米在線計量特性的超薄層的二維材料

2023年4月27日

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學報

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由:a·穆薩j . Bogdanowicz b . Groven·莫林m . Beggiato m .賽博g .澳網y Abramovitz, k . Houtchens s . Ben Nissim n .梅爾j .掛a . Urbanowicz r .作者Turovets, g . f . Lorusso A.-L。查理

離子注入應用程序在線模擬人生計量

2023年1月26日

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由:李魏Ti,本傑明希基,莎拉•岡田克也勞倫斯魯尼,馮

Epi鍺矽的應用程序使用METRION®內聯SIMS係統

2023年1月26日

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由:李魏Ti,本傑明希基,莎拉•岡田克也勞倫斯魯尼,馮

在積極和消極離子汙染物的檢測模式使用內聯西姆斯和一個氧離子束

2023年1月26日

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新星

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由:茱莉亞·霍夫曼,莎拉•岡田克也勞倫斯魯尼,Bruno Schueler Ganesh Vanamu