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材料計量

半導體製造用在線材料計量“，

諾瓦是創新薄膜計量和過程控製技術的市場領導者。我們在高生產率的平台上開發高靈敏度的在線材料計量解決方案，從而使關鍵的計量解決方案更接近半導體晶圓廠的工藝和集成需求。

我們的技術使客戶能夠準確地檢測和量化薄膜成分和厚度的微小變化，從而影響更好的設備功能，並提高生產良率。

Nova的產品組合還包括強大的離線數據管理解決方案、用於數據分析的先進算法和用於完整車隊管理的服務器工具。

產品的家庭

  • Nova METRION®

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  • Nova ELIPSON™

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  • Nova VERAFLEX®

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Nova METRION®
Nova METRION®是一款完全自動化的SIMS產品，可用於在線生產過程控製。
產品
Nova ELIPSON™
Nova ELIPSON™是革命性的材料計量解決方案。新的在線獨立計量平台旨在測量材料的性能，如應力，應變和表麵的記憶和邏輯應用。Nova ELIPSON™從頭開始，結合突破性的能力，提供了任何其他在線材料計量係統無法比擬的新材料信息和特性。
產品
Nova VERAFLEX®
用於半導體過程控製的世界級XPS和XRF計量技術。
產品
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