Nova Elipson™

光學材料計量平台實現晶圓廠的拉曼光譜法

這Nova Elipson™是高端獨立計量係統，優化用於測量材料特性如組成，應變，結晶度和表麵特性，，，，對於內存和邏輯段。該平台利用拉曼光譜進行光學材料計量學（OMM）提取材料分析區域的特性。這個聰明，數據豐富的平台允許新信息在生產地麵上快速流動，帶來研究級功能從研發到工廠大量製造（HVM）階段。

亮點和好處

• 全自動，300毫米HVM-就緒平台
• 專為先進的3D申請：GAA，，，，Finfet，，，，3D-Nand和Dram
• 多ple- 亮度高的波長源
• 小地方合適的用於內部計量學
• 寬光譜範圍具有高光譜精度和精度

Nova Elipson™能夠解決各種各樣申請在四個關鍵領域：直接應變測量先進的邏輯設備例如全能的門，大量的結晶度計量學m室內，，，，階段萃取的二進製和三元合金，以及晶體學缺陷檢測。

今天的材料是高級節點的關鍵性能增強驅動因素，新材料和合金不斷引入該行業。同時，製造過程變得越來越複雜。如此複雜推動客戶的發展過程控製需求 - 和反過來計量挑戰 - 提供有關材料特性的廣泛信息在命令穩定該過程研發階段和至確保效率ctive過程控製HVM階段。為了滿足這些需求，我們必須能夠提供先前複雜而深入的計量能力可用的隻要在實驗室。

這Nova Elipson™是一個最先進的大批量製造平台，能夠提供高通量和高精度基於拉曼光譜對內部結構的測量。它結合了多個ple- 具有高測量精度，可重複性和穩定性的波長源。

提供非破壞性和快速測量，Nova Elipson™優惠跨不同技術實施新應用程序的靈活性很高我交易解決方案用於解決多個應用程序和用例。

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