NovaVeraflex®IIIXF

在線XPS和XRF係統

Veraflex III XF結合了增強的XPS功能與獨特的低能XRF（LE-XRF）通道，以應對邏輯和內存設備計量挑戰。VERAFLEX III XF是諸如FinFET HKMG，InterConnect和Advanced Memories等應用程序的流程控製的行業標準。該工業XPS係統無縫地集成到生產和研發廠中，並符合最新的SEC/GEM和安全指南。

亮點和好處

• 在線XP和XRF計量學的市場領導者
• 完全自動化的300mm厚度 +組成解決方案
• 互補XP和XRF靈敏度
• 直接測量超薄薄膜和複雜堆棧
• 廣泛的應用範圍