NovaVeraflex®IV

下一代的更快，高精度在線XP和XRF材料計量學

Nova Veraflex產品線已徹底改變了內聯材料計量學，並且是XPS和XRF材料表征的行業標準。下一代NOVAVERAFLEX®IV解決了所有設備市場領域的關鍵行業挑戰，並繼續擴大其市場領導力，並通過在測量站點顯著增加X射線通量，從而通過高度重大的吞吐量進行改進。

邏輯，VNAND和DRAM設備段的新材料集成策略繼續推動關鍵的設備性能改進，以實現高級體係結構（如GAA（遍布）和納米片）的高級體係結構中的5NM性能裏程碑。此外，新的整合挑戰正在激發創新的XPS處理策略（如區域選擇性沉積）的發展。

NOVAVERAFELX®IV非常適合在這些獨特的處理條件下提供最大限度最大的收益率性能的內聯過程控製。

亮點和好處

• 在保持精確績效的同時，進行了大量的吞吐量改進。
• 較高的信號到噪聲性能揭示了新型SPC過程控製功能。
• 增強的光束控製與較小的PAD要求兼容
• 新的光譜優化技術可為工具匹配提供改進的工具
• 同時使用XPS和XRF，用於在線和DIE應用程序，
• 減少預防性維護周期和高級登機診斷