尺寸計量

Nova是具有多一代產品的集成計量平台空間的市場領導者。我們的集成計量平台使高級過程控製（APC）能夠監視和控製晶片到複雜高端CMP的晶圓變化，並以高生產率和最先進的邏輯和內存技術節點所需的高生產率和可靠性的蝕刻應用。万博mantex体育入口

Nova’s stand-alone metrology platforms are utilized to characterize critical dimensions such as width, shape and profile with high precision and accuracy and are used in multiple areas of the fab such as photolithography, etch, CMP and deposition in the most advanced technology nodes, across all semiconductor leading customers.

Nova的艦隊管理和性能監測中心簡化了管理層，增強了FAB中的Nova工具的生產率。該平台使用高級數據分析工具處理和分析大量車隊和計量數據的能力為我們的客戶提供了對工具性能和流程趨勢的智能和預測洞察。