Nova Prism

光學CD中的新維度

引入NOVA的新光學CD平台采用了破壞性光譜幹涉法（SI）技術，並從測量的樣品中提取了獨特信息，而當前技術無法訪問。万博mantex体育入口Nova Prism提供了獨特的光學渠道，可以解決當前製造過程中許多日益增長的挑戰。Nova Prism提供了寶貴的計量性能，使最先進的技術以最高的收率和質量傳遞。

亮點和好處

• 從頭開始設計的所有新平台
• 硬件和算法的協同作用
• 當前解決方案無法訪問的基本信息
• 行業領先的機器學習解決方案
• 關鍵步驟上與設備產量的增強相關性

Nova Prism的目標是整個半導體段中最複雜的設備製造。新平台是Nova高級獨立計量組合的獨特補充。

該解決方案將革命性的光譜幹涉法（SI）技術與最先進的多渠道光學技術相結合，從而實現了廣泛而獨特的光譜信息。万博mantex体育入口

Nova Mars物理建模解決方案以及Nova Fit Machine學習功能增強了此產品，以進一步在多個挑戰性應用程序上超越係統性能和生產力。