諾瓦火星

用於光學關鍵維度計算的高級3D建模軟件

Nova Mars軟件包是一種多通道計量模型引擎，為半導體製造的高級過程節點中的最先進的3D結構設計。這是用於散射模型開發，材料表征和配方優化的完整建模解決方案，這對於麵對半導體計量的挑戰至關重要。Nova Mars注入物理和過程相關的知識以解決複雜的結構。

Nova Mars結合Nova Fit及其高級算法（最大化信號信息），並隨著Nova HPC計算管理層的形式打破了一個古老的範式。盡管製造商通常必須犧牲準確性或生產力，但這種合並提供了穩健性和準確性，提高生產率，擴展的邊緣應用程序範圍以及解決方案的更快時間。

亮點和利益

• 快速，精確的解決方案開發和圖書館生成
• 支持高度複雜的2D/3D結構
• Nova Mars Stackmaker的易於使用的模型建築
• 內置，直觀和用戶友好的Nova Mars Matmaker™用於材料表征
• 專為多通道食譜優化而設計
• 複雜3D和HAR結構的聯合專有算法，以應對高級技術節點中的邏輯和記憶挑戰
• 高級圖書館解決方案會增加解決方案和高精度功能的時間，這對於應對不斷發展的計量挑戰至關重要

Nova Mars利用高級和獨特的算法優化光學CD計算，庫生成和自動通道選擇的速度和準確性，以進行優化的解決方案。Combined with Nova FIT advanced modeling suite and Nova HPC® High-Performance Computing, Nova MARS is a complete Optical CD metrology solution suitable for all Nova’s measurement platforms and addresses the most advanced metrology challenges in FinFET, Nano-wires, 3D NAND and DRAM fabrication.

Nova Mars Stackmaker專為散射模型而設計，可以簡單地拖放設計和非常複雜的3D設備幾何形狀的可視化。這種簡單而強大的方法使用戶可以輕鬆地創建新模型，在跟蹤設計演變的同時，在現有模型中實現設計和處理更改。

Nova Mars Matmaker™材料表征包提供了明顯的回歸引擎，可為正確的材料和解決方案提供快速收斂。