NovaI550®

Nova的高級性能IM解決方案

NovaI550®是新星的尖端集成計量平台，可在最先進的邏輯和內存技術節點中為CMP和蝕刻過程控製提供卓越的計量性能。万博mantex体育入口

亮點和福利

• 具有新光學和獨特建模的最佳計量性能
• 高生產率IM工具
• 緊密，精度，精度和工具到工具匹配規格
• 與領先的過程工具集成

NovaI550®旨在滿足最先進的研發和生產線的過程控製挑戰。通過提供更廣泛的光譜信息，更小的焊盤尺寸，高級模式識別，最佳地支持獨特建模算法的高級模式識別，NovaI550®提供了最佳的計量準確度，精度和工具匹配。

尋址對更接近該過程的高性能計量的需求，NovaI550®平台在生產力方麵提供了顯著的提升，可實現高采樣，多站點測量方案，並有資格與領先的CMP和蝕刻工藝設備供應商集成。

NovaI550®平台支持Nova的中央管理，控製和連接套件，用於提高運營效率和高級計量控製功能。