Nova Fleet管理

讓你控製

Nova’s fleet management solution is designed to address the needs and working methodologies of metrology and process engineers in the fab and offers a comprehensive solution for managing large fleets of metrology tools to deliver high productivity, operational efficiency and boosted performance in high volume production environment of logic, foundry and memory customers.

亮點和好處

• 提高生產率
• 減少工具停機時間
• 艦隊中所有工具的集中控製
• 車隊級配方數據完整性
• 增強功能和車隊性能

Nova Fleet Management由專門用於數據庫和數據存儲的集中式服務器，網絡連接的工具和服務器，用作啟用的後端平台：

• WRC - 基於向導的食譜創建和無晶圓食譜創建。直觀，易於使用的GUI簡化食譜創建。快速輕鬆地從現有元素中構建食譜。通過使用CAD文件信息，可以在擁有任何產品晶片之前升級到合成WRC。
• RMS（食譜管理係統）。在集中式數據庫的驅動下，RMS包含所有工具的配方，並允許在更改時輕鬆分發配方。RMS提供了元素共享的快速快照，顯示了NovAmars®解決方案的鏈接，並讓您輕鬆跟蹤食譜更改並在必要時進行後退。此外，它包括用戶授權級別以確保車隊安全。
• 集中存儲和管理。所有工具輸出的集中數據庫。存儲容量是可配置的，可以進行修改，而不會幹擾工具操作。
• 增強跨工具功能。車隊管理集中解決方案可以在工具之間進行路由信息，以增強整體車隊性能，例如跨工具注入結果和光譜。