空間計量

新興計量解決方案產業化的先驅

Nova先進的多學科多維度計量技術，將複雜的光學機械硬件與先進的光學技術和前沿算法相結合，為半導體製造生命周期的有效過程控製提供持續的創新。諾瓦的技術創新和市場領先地位使客戶能夠改善工藝性能，提高產品的產量，並加快產品上市時間。