高級成像

除了Nova的光譜測量專家外，它還投資於支持主要計量模塊的渠道。隨著準確性和速度的需求隨著技術節點而變得更加艱難，這些渠道的複雜性增加了。万博mantex体育入口這包括高級圖像處理算法，複雜的導航通道和健壯的模式識別功能：NOVA的高級圖像處理算法允許在表征要測量圖像元素的元素方麵極大地提高精度。為了啟用具有微觀級位置精度所需位置的測量，Nova還將複雜的硬件和軟件導航輔助工具的組合以及高級的模式識別能力結合在一起。

微小尺度表征的高級圖像處理

典型光學顯微鏡的光學分辨率受到亞微米的光衍射的限製。NOVA的高級圖像處理算法可以極大地提高精度，以表征已知幾何形狀，降至納米精度。這些功能可用於高度準確的定位協議，以確保可重複的測量值。

精致的原位導航頻道

為了以高精度在所需位置進行測量，Nova的係統實現了原位導航渠道和高級模式識別功能。

強大的圖案識別算法

NOVA係統利用高級模式識別算法來定位晶圓上的係統位置。這些算法中的一些利用了幾何概念，該概念創建了功能幾何形狀的模型。這樣的算法可以以每圖像的毫秒速度以毫秒的速度實現深層像素精度。