混合計量學

近年來，半導體行業的加速速度提高了尺寸計量設備（諸如光學CD，SEM，AFM等工具集）的需求不斷增長。為了跟上這些越來越多的計量學挑戰，Nova通過引入混合計量學來徹底改變了維度計量學的功能。使用此技術，將從不同万博mantex体育入口工具集中獲得的數據組合在一起，以獲得有關測量樣本的較高信息，並更好地了解該過程。Nova的革命方法適當地應用了這種工具集的雜交方式，該方式急劇地將參數分別分別分別分別在每個工具集中。因此，通過雜交，人們不僅可以增強測量的性能，而且可以增強因其他工具集的貢獻所帶來的置信。

亮點和福利

• 1+1> 2：混合計量學提供了在不同技術上運行的幾種計量工具之間的交叉施用。尤其是：
  • 一個計量單元可以提供有關另一個無法提供的樣本的信息，反之亦然
  • 可以從所有工具中獲得的常見信息可用於相互交叉引用以提高準確性。
  • 參數之間的幹擾相關性減少了，從而提供了更好的準確性。
• 最佳利用：由於大多數計量工具都可以在客戶站點上獲得，因此使用這兩種工具獲得的好處非常大。
• 計量工具平衡：由於混合學計量結合了來自不同技術的信息，通常有一種更有效的方法將每個工具分配給樣品並提高整體性能（就速度和測量準確性而言）。

多年來，半導體行業采用了各種維度計量能力。當今的計量要求比曆史CD測量更全麵。高級過程需要精確檢測有關複雜結構的多個複雜細節，例如側壁角（SWA），輪廓，間隔寬度，間隔者下拉，外觀近端，腳下/底切，過度填充/填充等等。所有這些功能都需要將控製到單個Angstrom級別。NOVA從多種設備類型或工具集雜交測量的能力以啟用或改進一個或多個關鍵參數的測量值稱為混合度量學（HM）。

通常，一個工具不能按照過程規格在線測量所有關鍵參數。為了避免這種情況，過程開發通常使用破壞性計量學 - 跨截麵次級電子顯微鏡（X-SEM），透射電子顯微鏡（TEM）等進行過程表征。這些離線工具緩慢，昂貴，並提供最少的采樣。

在NOVA的混合計量生態係統下（圖1），可以將來自一個工具集的數據與另一個工具集交換，並以互補或協同的方式用於改善整體測量性能。混合計量方法使Nova的客戶能夠成功地測量目前難以通過單個工具集可靠衡量的複雜結構。

該圖顯示了雜交的引入如何分解兩個幾何參數（命名為SWA和TCD），它們在沒有雜交的情況下非物理耦合。