光散射測量

光學散射法是一種通過測量來自物體的寬頻帶光的反射來表征樣品未知性質的方法。反射隨波長(顏色)、偏振和入射角而變化。Nova的散射測量工具以非常高的速率提供高精度的測量，在用戶定義的小斑點尺寸的樣本。盡管速度/精度/光點大小通常是一組相互矛盾的要求，但Nova的不斷開發和創新使這一切得以共存，盡管隨著技術節點大小的縮小，不斷有壓力要求改進這些。万博mantex体育入口

亮點&好處

• 高測量速度:由於使用強光源和非常靈敏的探測器，光學散射法的測量速度通常非常快。這最終產生了具有高信噪比的快速測量。
• 無損:光學散射法是一種非破壞性的測量方法，對生產線沒有影響。
• 準確的解釋:由於光與樣品的相互作用是眾所周知的，散射信號的解釋要比其他計量技術精確得多。

光學散射術的內部工作原理、能力和挑戰

一個寬帶光源聚焦在一個樣本上。從樣品反射回來的光被聚焦到一個設備上，該設備可以將其分成光譜和偏振組件(圖上用棱鏡表示)。然後，每個組件通過專門的探測器轉換成電信號。光譜數據，也就是每個波長的信號電平，然後被送到一個處理單元。利用描述物質和光相互作用的物理原理(麥克斯韋方程組)以及機器學習的數學模型，處理單元評估與測量結果最匹配的樣品的屬性。

被測量的典型尺寸是那些與最先進的晶體管有關的尺寸。這些都是基於最先進的工業設計節點的邏輯和存儲設備。盡管這些尺寸比所使用的光的波長要小得多，但采用精密的光學散射法能夠彌補這一差距。此外，大多數關鍵尺寸的測量是高精度的，非常快，同時聚焦到一個非常小的區域。這三個需求通常被認為是相互矛盾的，但可以通過幾種方法來實現。這包括:巧妙的目標設計，使用寬頻帶，複雜的光學設計，光偏振的合理控製，複雜的算法等等。