NovaT600®MMSR

大多數高級流程節點的尖端維度計量平台

NOVA T600 MMSR是NOVA的高端獨立維度計量平台，該平台針對關鍵維度（CD）和最先進的邏輯和內存技術節點的薄膜測量。万博mantex体育入口

亮點和好處

• 多個信息渠道 - 提供廣泛的光譜信息以獲得最佳計量性能
• 優化的渠道選擇 - 提高性能，生產率和解決時間
• 強大的平台 - 可靠，經過驗證的係統體係結構
• 配置靈活性 - 提高生產率和計量優化。
• 未來準備就緒 - 模塊化設計，以支持未來的創新和改進

NOVA T600 MMSR擴展了Nova的獨立計量性能，並具有新的信息渠道以及獨特的算法用於自動頻道選擇。該能力可以優化光學測量通道，以達到最佳的計量性能，同時保持高生產率。

NOVA T600 MMSR提供極低的可變性和市場領先的工具對工具匹配，以在整個過程中的各個步驟中對敏感參數進行監視和跟蹤。T600 MMSR結合了NOVA的高級建模解決方案套件，為臨界維度（CD）和薄膜測量最複雜的層堆棧和3D結構提供了最先進的性能。

T600 MMSR的高生產率和獨特的模塊化設計為IC製造商提供了可擴展的體係結構，以支持最佳持有成本和優化其資本投資的能力，以支持下一代技術節點。万博mantex体育入口該平台得到了NOVA的中央車隊管理，控製和連接解決方​​案的支持，可提高操作效率和高級計量控製功能。