NovaT550®

最好的COO和完整的集成計量公共

Nova T550是一種高生產率維度計量平台，旨在解決半導體製造業的獨特挑戰，為高級節點提供高效且有效的解決方案。

亮點和福利

• 最高吞吐量解決方案
• 模塊化計量平台
• 緊密精度，精度和艦隊匹配規格
• 全群到I550綜合計量平台
• 強大的平台 - 高可靠性硬件架構
• 專為高級技術節點而設計万博mantex体育入口

Nova T550是Nova的半導體製造商艦隊解決方案的一部分。通過全共性和相同的光學設計作為Nova I550集成計量平台，Nova T550完成了Nova的獨特且高效的CMP和蝕刻計量和過程控製。

Nova T550高生產率和優異的計量性能使采樣率和高性能膠片厚度和高級節點的光盤測量能力增加。其強大的架構提供極低的可變性和卓越的工具到工具匹配。

Nova T550平台支持Nova的中央管理，控製和連接套件，用於提高運營效率和高級計量控製功能。