NovaT500®

Nova T500是一個高生產率計量平台，旨在應對半導體製造業的獨特挑戰。這個功能強大的平台可為28 nm及以下提供提高的采樣率和高級計量功能。

亮點和好處

• 工廠生產力 - 最高吞吐量解決方案
• 模塊化計量平台
• 艦隊準備好 - 優越的工具工具匹配
• 強大的平台 - 高可靠性硬件體係結構
• 獨特的功能 - 厚層測量

Nova T500平台是Nova為半導體製造商的車隊解決方案的一部分。Nova T500具有與NOVA I500集成計量平台相同的通用性和相同的光學設計，可完成Nova的獨特且高效的CMP計量和過程控製。

Nova T500平台提供了厚層測量（TLM）的獨特功能，從而為需要對厚膜的準確，重複測量的應用提供了解決方案，例如CMOS圖像傳感器BSI CMP應用程序。

Nova T500平台可以支持2個測量單元，在提供一貫的高臨界度測量的同時提供極高的吞吐量。高級平台使高端集成電路（IC）製造商能夠增加計量抽樣並提高計量學的精度，同時降低所有權計量成本（COO）。

NOVA T500平台得到了NOVA的中央管理，控製和連接套件的支持，可提高操作效率和高級計量控製功能。