NovaI500®

綜合計量學標準

NovaI500®是一個行業領先的集成計量平台，用於高級邏輯和內存技術節點中的過程控製。万博mantex体育入口

亮點和利益

• 高級技術節點綜合計量的行業標準万博mantex体育入口
• 出色的計量和生產力表現
• 一個具有出色可靠性的現場證實平台
• 有資格獲得廣泛的工藝設備工具
• 唯一的配置和現場升級選項

Novai500®提供出色的計量性能，Angstrom級工具匹配和出色的可靠性高吞吐量。加上高級建模功能，該平台支持CMP和Etch中線測量步驟的一係列前端和後端，並廣泛地部署在邏輯和內存製造商的高級節點中。

NovaI500®平台有資格使用多種流程工具，並且有多種配置。其中包括具有增強的計量和生產率性能的NovaI500®Plus和NOVA I500 TLM（厚層測量），設計用於測量CMOS圖像傳感器（CIS）和背麵照明（BSI）CMP過程中厚矽層的測量。

NovaI500®係列得到了NOVA的中央管理，控製和連接套件的支持，可提高操作效率和高級計量控製功能。