NovaI570®

NovaI570®HP集成計量係統

市場上最高的性能IM解決方案

NovaI570®HP是NovaI570®產品係列的領先成員。它是NOVA最先進的集成計量平台，可提供最高的計量性能，過程控製和生產力功能。定位最先進的邏輯和內存技術節點的製造。万博mantex体育入口

亮點和好處

• 市場上最高的吞吐量支持最新，最快的CMP拋光劑
• 優越的磁力內部和DIE內部控製控製
• 市場領先的準確性，精度和工具匹配規範
• 與NovaI550®平台的完全計量兼容性
• 與領先的流程工具集成

NOVAI570®HP平台是Nova Mission的體現，作為集成計量市場的領導者，為研發和高容量製造工廠提供最高性能平台。
作為成功的NovaI550®平台的下一步，NovaI570®HP提供了廣度的光譜信息，最小的墊子尺寸和尖端的圖案識別。

NovaI570®HP提供了市場上最高的吞吐量，支持最新，最快的CMP拋光劑，並通過測量更多的站點以及彈藥前和後的測量值，從而在勝利和die內部控製內部進行更好的變化。NovaI570®HP富含NOVA的高級建模和算法解決方案，為計量精度，精度和工具匹配功能提供了重大增強。

NOVAI570®HP平台得到Nova的中央車隊管理，控製和連接套件的支持，可提高操作效率和高級計量控製功能。