Nova Astera™Prime

NOVA ASTERA™PRIME集成計量係統

行業中的第一個

Nova Astera™Prime在集成計量的緊湊型形式中提供獨立的水平性能。利用傾斜和正常的入射通道測量值，Nova Astera™Prime提供了無與倫比的準確性，精度，工具對工具匹配和擴展性的水平。

亮點和好處

• 非常適合支持最先進節點的研發挑戰
• 最佳計量性能
• 對於複雜3D結構的最佳IM解決方案
• 高級算法建模套件可提供最快的應用程序時間到解決

半導體製造商麵臨多個過程的複雜性，開發時間的挑戰日益增長以及收益率提高的困難。反過來，這提出了對更緊密規格和較小過程窗口的需求 - 以及計量解決方案，以減少總體測量不確定性。不斷增長的製造複雜性決定了需要用最小的磁力內和die內變化來測量的，這需要最高水平的測量精度。

Nova Astera™Prime為整合計量學世界帶來了無與倫比的能力，為在DRAM，3DNAND和LOGIC中挑戰的OCD應用程序提供了強有力的測量。該平台利用高級物理和機器學習算法提供了最快的應用程序時間到解決方案。通過多個渠道收集的平台豐富的光譜信息內容為解決複雜的3D光學CD應用程序提供了必要的靈敏度，該應用需要監視越來越多的參數。

NOVA ASTERA™PRIME的目標是支持最先進的設備技術的開發，超越3NM邏輯納米片體係結構和256層，多甲板3D-NAND節點。

Nova Astera™Prime平台得到NOVA的中央車隊管理，控製和連接套件的支持，以提高操作效率和高級計量控製功能。