NovaMetrion®

統計過程控製的第一個在線SIMS（SPC）組成曲線

見麵諾瓦Metrion®： 一種完全自動化SIMS產品經過驗證用於在線生產過程控製。NovaMetrion®重複從實驗室和FAB中的測量值對SPC至關重要。將能力移動到晶圓廠，和enabling全磁映射，縮短反饋的時間，並通過識別流程出現時提供快速投資回報率，防止廢料和昂貴的返工。

強調：

• SIMS技万博mantex体育入口術實現了針對Fab量身定量的定量組成分析
• 全自動，配方驅動的300mm HVM準備就緒
• 專為複雜膜堆棧的過程控製而設計，用於邏輯和記憶
• 快速，可靠且可重複的模擬人口數據
• 在各種高價值用例中驗證邏輯和內存

Nova'sMetrion®係統是一個創新的SIMS平台，從頭開始設計，以無縫集成為自動化的工廠工作流程。該係統經過精心設計，可提供高精度計量結果，用於複雜膜的過程控製兩者的堆棧邏輯和內存設備。Metrion®測量化學物種的精確濃度作為深度的函數，產生可用於監測和控製的成分曲線各種屬性，包括摻雜劑濃度，植入物均勻性和汙染水平。