x射線光電子能譜(XPS)
的新星VERAFLEX®係列產品利用x射線光電子能譜(XPS)。這種強大的技術是優化提供自動万博mantex体育入口化、速度和可靠性要求在今天的先進的半導體生產環境。XPS是唯一適合該行業的薄電影和較小的特性,從而提高新技術性能在每個節點。万博mantex体育入口的新星VERAFLEX®產品套件優化XPS的各個方麵創造一個創新的內聯計量係統,運行在一個自動化的生產環境。
為什麼XPS ?
XPS surface-sensitive定量光譜技術被用來確定薄膜的元素組成。該技術提供的信息元素的化學和電子態現有薄膜內或一個複雜的堆棧。
它是如何工作的?
XPS譜是通過暴露的電影感興趣的一個主要的x射線,這可以通過材料吸收的材料或分散。如果x射線足夠精力充沛,它吸收和轉移的能量是一個內層電子。發射的電子保持特定的動能即代表化學元素的簽名。這種光電效應被稱為XPS分析。
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