Nova ANCOSCENE™是一個行業標準的化學計量解決方案波紋的鍍銅互連應用。解決方案已經被全球領先製造商資格操作高級節點的生產過程。Nova ANCOSCENE™支持不斷增長的銅浴室浴和應用程序,並提供一個完全自動化的分析組件、過程警報和警告,整體過程控製。Nova ANCOSCENE™進行快速和靈活的分析自動驗證和校準。分析器可以確保運行平穩,不需要獨特的和昂貴的校準解決方案和化學物質。
核心設計元素、安全功能和關鍵功能的新星ANCOSCENE™專注於簡化操作和維護所有權的成本降到最低。這些元素包括non-reagent分析、過程高可用性和優化布局,減少化學物質使用和廢物產生。
