Nova火星®軟件包是一個多通道計量建模引擎設計複雜的2 d / 3 d設備先進製造過程節點。散射測量模型的一個完整的建模解決方案開發、材料特性和配方優化,Nova火星®利用物理和流程相關知識來解決複雜的結構。
該解決方案提供了獨特的結合新星棱鏡和新星ELIPSON建模功能®,適用於無縫連接與Nova HPC和新星™。
為什麼新星火星®嗎?
作為先進的生產流程節點變得越來越複雜,IC製造商需要一個全麵的解決方案,既準確又生產以維持競爭力。
Nova火星®,輔以新星®Nova HPC,打破長期以來的範式。製造商先進的3 d結構,如FinFET,納米線,3 d NAND和DRAM,不再需要犧牲準確性或生產率。相反,他們可以利用組合提供增加魯棒性和準確性,提高生產率、邊緣擴展到應用程序和享受更快的解決時間。
Nova火星®利用先進的和獨特的算法來優化CD光學計算的速度和準確性,圖書館一代,和自動信道選擇。當結合新星®高級算法最大化信號信息,Nova HPC, Nova火星®提供了一個完整的CD光學計量解決方案覆蓋公司的所有測量平台。
進一步加強其提供高級建模套件功能兩個可選的附加組件——新星火星®StackMaker和新星火星®MatMaker。
為散射測量模型,設計新星火星®StackMaker使一個直觀的拖放設計和可視化的最複雜的3 d設備幾何圖形。這簡單而強大的方法使它容易為用戶創建新的模型和實現設計和過程變化到現有模型在跟蹤設計進化。
Nova火星®MatMaker是表征材料包更快回歸引擎參數快速收斂到正確的材料和解決方案。
