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IBM Research和Nova在SPIE高級光刻會議上共同授予了“最佳計量論文”

rehovot,以色列,2022年4月26日

為納米片設備演示在線拉曼光譜(Nova Elipson™)

以色列rehovot - 2022年4月26日 - Nova(NASDAQ:NVMI)今天宣布,其與IBM有關“在線拉曼在堆疊納米片設備製造中的Raman Spectroscoppoy”的共同撰寫的論文已被選為Diana Nyyssonen Award of Diana Nyyssonen Award對於“ Spie的最佳紙張S 2021高級光刻研討會。”該獎項是在2022年會議開幕日授予Nova和IBM的。該論文是公司之間連續合作的結果,該公司推動了許多創新的聯合開發計劃以增強先進的芯片製造業。該論文通過利用其獨特和差異化的解決方案來展示NOVA新型NOVA在高級過程控製中促進的。作為與IBM Research合作的一部分,Nova在紐約奧爾巴尼的IBM Research實驗室中安裝了最先進的作品集。

在複雜的納米級結構內的下一代設備中監測和控製應變是一個新的挑戰。合適的非破壞性和快速的直線技術對於成功的研究,開發和製造至關重要。聯合努力表明,在整個堆疊納米片設備的前端(FEOL)製造周期中,在多個關鍵過程步驟中,在多個關鍵過程步驟中進行了無損性應變計量的線路光譜。本文確定了在線拉曼的重要性,並支持大量製造中對材料計量學的不斷增長的需求。

“我們與NOVA的在線拉曼光譜工作支持邏輯規模的關鍵進展,這為納米片晶體管提供了應變計量學的新途徑,” IBM研究中混合雲技術研究與奧爾巴尼運營副總裁Huiming Bu博士說。万博mantex体育入口“這項共同的努力表明了協作生態係統IBM,並且在奧爾巴尼培養了合作夥伴,以指導我們的領先邏輯技術研發路線圖。”万博mantex体育入口

Nova首席技術官Shay Wolfling博士說:“我們很榮幸能與IBM Research合作獲得這一享有盛譽的獎項。”万博mantex体育入口“在關鍵過程步驟中控製納米片的壓力是我們創新的Nova Elipson實現的TM值拉曼光譜解決方案旨在測量記憶和邏輯設備的應力,結晶度和表麵特性等材料特性。與IBM Research的聯合合作表明,通過與客戶的合作,我們可以介紹新技術,提供開創性的解決方案,以使其能夠過渡到下一代製造業。”

關於Nova:

Nova是用於半導體製造中高級過程控製的材料,光學和化學計量解決方案的主要創新者和關鍵提供商。NOVA通過提供最先進的高性能計量解決方案來提供持續的創新,以在整個半導體製造生命周期內進行有效的過程控製。Nova的產品組合結合了高精度硬件和尖端軟件,為客戶提供了對開發和生產最先進的半導體設備的深刻見解。NOVA提供創新解決方案的獨特能力使其客戶能夠提高性能,提高產品收益率並加速推出市場。Nova是全球辦事處的半導體製造商的合作夥伴。可以在Nova的網站鏈接- //www.qellim.com/。

Nova在納斯達克及納斯達克股票符號NVMI上交易。

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