X射線熒光（XRF）

Veraflex XF產品選項配備了獨特的低能XRF功能。該解決方案基於對樣品中發出的二級電子的分析提供了元素信息的附加通道，因為可以同時檢測和分析XPS和XRF信號。

亮點和好處

• 薄膜表麵和深度的材料特性的元素分析
• 通過分析二級電子發射來識別化學元件
• 同時厚度和組成數據無關

光電效應的開始還可以影響光和物質的一些其他相互作用。

通過高能入射X射線產生的內殼電子的去除使所分析材料的電子結構的不穩定性。由於每個元素具有特征能的電子軌道，因此可以通過有限的方式填充不穩定空缺。

如果不穩定的空置由較高的殼電子填充，則殼能量的差異為光子（即X射線）。對這種特征二級X射線發射或X射線熒光的分析稱為XRF。