X射線光電子光譜（XPS）

NovaVeraflex®產品係列利用X射線光電子光譜（XPS），這是一項強大的技術，已經過優化，可在當今高級半導體生產環境中提供自動化，速度和可靠性。万博mantex体育入口該技術非常適合轉向更薄的薄膜和較小的功能，從而提高了每個新技術節點的性能。万博mantex体育入口

亮點和好處

• 表麵敏感技術
• 基於發射光電子能量的化學元件，鍵合態的識別
• 通過光電強度分析，直接量化膜中原子數量
• 同時厚度和組成無關

X射線光電子光譜（XPS）是一種表麵敏感的定量光譜技術，用於確定薄膜的元素組成。該技術提供了有關薄膜或複雜堆棧中存在的元素的化學狀態和電子狀態的信息。

XPS光譜是通過將感興趣的薄膜暴露於一X射線中獲得的，該X射線可以被材料吸收或散布在材料中。如果X射線足夠能量，則將其吸收並將能量轉移到內殼電子中。由於此事件而發出的電子將具有代表該元件化學特征的動能。該光電效應的分析稱為XPS。

Veraflex Product Suite已將XPS技術的各個方麵優化為創新的在線計量係統，該係統可以在自動生產環境中運行。万博mantex体育入口