SIMS二級離子質譜法

諾瓦 Metrion® utilizes二級離子質譜（SIMS）技術toproprovideInformation，其万博mantex体育入口他在線計量係統無法提供。  METRION provides direct, in-line measurement of the chemical composition with respect to depth at high resolution and data density.  METRION can measure multiple species simultaneously through the entire film stack on a whole, 300mm wafer.  Process automation with built-in film analysis and recipe management makes the system easy to use and shorten the time to data.  Bringing SIMS in-line prevents scrap, reduces重工，andenables更緊密的SpcbyDeliveringTime敏感信息可以監視和控製HVM工作流。 

亮點和好處 

• 直接的，在線測量高深度分辨率和數據密度下的組合曲線 
• 內置電影分析和食譜管理 
• 大量製造的全工廠自動化 
• 無汙染的生產 
• 整個Wafersims消除了樣品準備 
• 通過降低廢料和提高產量通過快速投資回報率 
• 關鍵用例包括：汙染控製，進程預防，反應堆匹配，均勻性控製