Nova棱鏡是一個高度先進的戰地平台設計用於滿足最嚴格的計量和高生產力的要求。Nova棱鏡利用相結合的綜合光譜信息與先進的建模和機器學習能力,應對複雜的挑戰在光學臨界尺寸。平台的信息渠道的獨特組合提高了魯棒性的過程的可變性。獨家SI技術揭示了獨特的測量樣本信万博mantex体育入口息和提高靈敏度和魯棒性的監控結構尺寸和材料特性。
為什麼新星棱鏡?
一個解決方案,可以提供額外的信息和獨特的洞察所有主要的半導體領域,包括先進的邏輯(nanosheet), DRAM和3 d NAND閃存。
其高吞吐量匹配大批量生產的要求,允許高采樣和提高產量提供了關鍵數據。
SI技術允許對万博mantex体育入口應用程序開發新技術,使尋址關鍵流程的挑戰和計量的需要,而多個光譜信息渠道允許定製每個應用程序的特定需求,提供優化計量最高的生產力。
新星棱鏡結合機器學習算法的最新進展與獨特的光譜信息協同產生的平台。
