以色列Rehovot - 2月17日2021 -新星(納斯達克:NVMI)今天宣布其計量組合高級gate-all-around(棉酚)。增強其市場領先的投資組合,公司推出多種先進解決方案獨特的裝備來解決下一代邏輯器件的製造挑戰。
半導體產業轉型對先進技術節點,過程顯著增加的挑戰。万博mantex体育入口時間收益率成為一個關鍵參數,衝突與越來越多的流程步驟,更高的采樣和設計規則收縮。這個衝突進一步複雜化需要測量設備上,在測試結構不再代表的實際過程。此外,大量的新材料需要內聯的控製參數,如厚度、組成、壓力、和當地設備內的變化。滿足這些需求,過程控製解決方案必須更準確,適用於複雜的三維結構和新材料,應用於更多的層,利用物理和化學內聯參數。
邏輯製造,最顯著的轉變是從鰭場效應晶體管(FinFET) gate-all-around晶體管(棉酚),使製造過程更加複雜。Nanosheet晶體管設立新的限製,規定一個完整的描述的多個個體nanosheets尺寸和材料特性。多個nanosheet關鍵步驟,如內部間隔形成和替代金屬門的形成,需要更嚴格的過程控製。
“新星富人和有區別的投資組合構建滿足下一代設備製造的挑戰,”埃坦Oppenhaim說,總裁兼首席執行官。“在具有挑戰性的設計,材料正成為一個越來越重要的關鍵設備進化,和高投資這個領域為我們的客戶提供了一個獨特的互補的價值。之間的協同作用,這是進一步增強我們的市場領先維計量,計量的材料組合,和最近的化學計量學。”
新星的互補提供允許客戶得到更好的洞察最複雜的半導體結構通過一個更廣泛的觀點幾何尺寸、材料物理屬性和化學分析。整個解決方案已被推廣到市場,主要客戶在使用穩定棉酚流程步驟,增加產量。
Nova豐富的新一代組合包括:
Nova棱鏡使上級計量性能關鍵型應用程序,通過平台的光譜幹涉法(SI)技術。万博mantex体育入口SI技万博mantex体育入口術證明添加一個全新的維度的光譜信息無法訪問當前傳統的光學CD方法通過提供絕對相位信息,提高敏感性弱目標參數,特別要求的複雜性中引入新的棉酚設計規則。
Nova i570Nova頂級性能綜合計量平台大批量生產,鞏固新星在這一領域的領導地位。這個平台提高總內聯測量功能在小結構和多層。
Nova METRION®帶來SIMS技術大批量生万博mantex体育入口產,使檔案材料的成分,深度以前局限於實驗室環境中,在材料沉積在nanosheets製造業的關鍵一步。製造商必須嚴格控製材料的濃度和均勻沉積在個人nanosheets。
Nova ELIPSON™利用先進的拉曼光譜技術對光學材料計量(石)提取材料的性質在結構通過快速、非万博mantex体育入口破壞性手段。下一代ELIPSON™提供多個解決方案生產的挑戰,包括應變形成和defectivity測量過程。
Nova VERAFLEX®四世是在線的最新行業標準,在x射線光電子能譜(XPS)和集成的x射線熒光光譜儀。VERAFLEX®IV提供直接測量控製單層膜棧和摻雜劑濃度通過生成行業最高的x射線通量和專有的光學係統需要解決複雜的結構。
所有平台統一新星的機器學習軟件套件,Nova符合2.0,該公司最新的機器學習解決方案,采用先進的算法和先進的計算層。
關於新星:
新星是一個領先的創新者和關鍵供應商的材料,光學和化學計量解決方案在半導體製造先進的過程控製。新星提供不斷創新,提供最先進的高性能計量解決方案有效的過程控製整個半導體製造生命周期。新星的產品組合,結合高精度硬件和尖端的軟件,為客戶提供深度洞察開發和生產最先進的半導體器件。新星的獨特能力,提供創新的解決方案讓客戶提高性能,提高產品產量和加速投放市場的時間。新星作為合作夥伴從其世界各地的辦事處半導體製造商。額外的信息可能會被發現新星的網站鏈接——//www.qellim.com/。
新星在納斯達克交易&作弄,納斯達克股票代碼NVMI
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