300毫米在線計量特性的超薄層的二維材料

文摘
設備基於2 d材料渠道需要高質量的單層材料。然而,盡管許多實驗室計量技術的價值已經證明在小優惠券,內聯的發展特征的二維材料層生長在300 mm晶圓是失蹤。在這項工作中,我們評估和結合不同的內聯計量晶片級厚度和形態特征的二硫化鎢(WS2)層生長在300 mm晶圓。結合不同的技術允許我們的結果揭示了形態和二硫化鎢層的厚度及其均勻性在不同生長條件下的300毫米晶圓。
關鍵詞:二維材料、二硫化鎢、二硫化鎢,在線計量,300 mm晶圓。