改進高級鑄造製造業的計量艦隊KPI
Authored by: Susan Emans, Benny Vilge, Marjorie Cheng, Charles Kang, Darren Zingerman, Kevin Drayton, Naren Yellai, Matthew Sendelbach, Taher Kagalwala, Padraig Timoney, Ronald Fiege, Jason Emans, Timothy Hughes, Alexander Elia, Alok Vaid |ASMC 2019，2019年5月1日
抽象的
在半導體製造中，晶圓通過線路處理所需的時間至關重要。對於鑄造廠和最終客戶來說，這些晶片的處理的任何延遲都非常昂貴。周期時間是任何客戶在鑄造中尋找的關鍵指標之一，以確保按計劃提供其產品。為了改善整體周期時間，每個設備車隊都需要始終有效地處理晶圓。在本文中，我們將展示NOVA OCD車隊的關鍵製造指標的可持續改進。
討論的關鍵指標是Lot Holds，食譜FTR（首次右），車隊的可用性和車隊匹配。根據每個指標製定和執行改進策略，分析了改進領域。對各自指標的每周跟蹤表明，行動計劃是成功和可持續的。類似的方法可以應用於任何計量機隊，以進一步改善製造指標。
關鍵詞：製造效率，機隊可用性，散射法，無晶片食譜，模式識別，車隊匹配
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