散射法與AFM測量相結合的區域選擇性沉積過程表征

摘要
使用區域選擇沉積(ASD)技術，材料沉積在樣品表麵所需的區域。的
這種過程的控製意味著在生長和非生長表麵沉積材料的精確表征。
這首先需要有良好的測量能力來量化沉積層的幾何形狀，其次需要適當的
工藝選擇性的評估。在這項工作中，我們展示了如何結合兩種互補的測量技術
以克服各自在ASD應用中的固有局限性。散射法，第一種測量技術，
由於其對?的高度敏感性，已被應用於沉積層幾何性質的表征
尺寸特征和材料。為了用局部信息補充ASD的性能表征，
原子力顯微鏡(AFM)被用來獲取分析表麵的地形細節。我們有
利用功率譜密度(PSD)方法對AFM圖像進行分析，以識別出不希望的物質沉積
非生長區，從而通過與參考樣品的比較來表征工藝的選擇性。
實驗驗證了散射法和AFM技術在ASD中的應用已經在具有各種
選擇性的水平。散射計量法準確測量了沉積層的厚度
沉積層均勻化後形成非生長區。橫向過度生長也被量化
相同的工藝，不同的工藝條件有一定的變化。此外，PSD分析應用於
AFM圖像能夠精確地探測納米顆粒在非生長區域的成核，結果顯示
選擇性過渡製度。之後，我們將兩個計量結果結合起來建立了一個混合模型
在測試晶圓上驗證了其預測。
關鍵詞:散射法，AFM，區域選擇沉積，功率譜密度，混合計量，ALD