使用散射測量法和LE-XRF來檢測銅線中的空隙
Authored by: Dexin Kong, Koichi Motoyama, Abraham Arceo de la peña, Huai Huang, Brock Mendoza, Mary Breton, Gangadhara Raja Muthinti, Hosadurga Shobha, Liying Jiang, Juntao Li, James J. Demarest, John Gaudiello, Gauri Karve, Aron Cepler，Matthew Sendelbach，Susan Emans，Paul Isbester，Kavita Shah，Shay Wolfing，Avron Ger |SPIE 2019，2019年2月1日
抽象的
銅線中的空隙是整合線後端（Beol）的常見故障機製
電路製造，影響芯片產量和可靠性。隨後的過程節點繼續
收縮金屬線尺寸，監視和控製這些空隙的尺寸越來越重要
[1]。當前，沒有定量的內部計量技術可以識別空隙
並測量。這項工作旨在通過結合散射法（也是
稱為光學臨界尺寸或光學CD）和低能X射線熒光（LE-XRF），
以及機器學習技術。通過將這些工具的輸入以混合動力的形式組合
計量以及通過合並機器學習方法，我們創建了一個新的指標，
稱為VXO，以表征void的數量。此外，將結果與內聯比較
電測試數據，因為預計較高量的空隙將增加測得的電阻率。
事實並非如此，因為空隙的影響遠不及變化的因素。
在線的橫截麵區域。
關鍵字：散射法，機器學習，XRF，雜交計量學，beol，空隙
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