用於散射臨界維度計量的錫金屬硬膜的高級光學模型
撰寫者：Peter Ebersbacha，Adam M. Urbanowiczb，Dmitriy Likhacheva，Carsten Hartiga |SPIE 2017，2017年2月1日
抽象的
大多數散射測量控製模型假設材料的恒定光學特性，僅
尺寸參數可以變化。但是，這種假設，尤其是在薄金屬膜的情況下，負麵
影響模型的精度和準確性。在這項工作中，我們專注於錫金屬壁爐的光學建模
散射法應用。由於錫的介電函數表現出厚度依賴性，因此我們必須采取這一事實
考慮到。此外，高度吸收膜的存在會影響介電層的厚度
在金屬膜下方。後來的現象通常不受擬合良好的反映。我們證明了準確的
金屬的光學建模對於實現所需的散射模型質量至關重要
微電子生產。提出的建模方法可以應用於其他錫應用，例如擴散
所有技術節點的微電子製造中使用的障礙物和金屬門以及其他金屬。万博mantex体育入口
關鍵字：錫頑固度，光學特性，薄金屬，光學建模，散射法，OCD
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