基於上下文的虛擬計量學

抽象的
混合動力和數據饋送方法是為高伏元中的高級光學過程控製解決方案而建立的
半導體製造。從以前的測量中獲得的適當信息，轉移到高級
光學模型在以下步驟中，提供了測量地形的增強精度和精確性
（厚度，臨界尺寸等）和材料參數。在某些情況下，遺漏了混合或饋送數據或
無效的死亡或整個晶圓。我們專注於虛擬計量學的方法，以重新創建混合動力或飼料。
大量製造中的數據輸入。我們討論丟失的數據輸入重建，該重建基於各種
插值和外推計劃，並使用有關晶圓過程曆史記錄的信息。而且，我們證明了
基於機器學習技術利用光學模型和測量光譜的數據重建方法。和
最後，我們研究了允許一個人評估虛擬數據輸入的錯誤餘量的指標。
關鍵字：混合計量學，光學建模，虛擬計量學，機器學習，過程上下文，過程
通用性，過程控製